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Antimon implantiert in Silicium
Ti / Al Mehrfachschichten TiO2 / SiO2 Mehrfachschichten TiN-, VN-, TiC-, VC- Einfachschichten
Dr. rer. nat.Streifenmuster für die Längenkalibrierung und die Bestimmung der lateralen Auflösung im Nanometerbereich
Dr. Mathias Senoner
Unter den Eichen 44-46
12203 Berlin
Telefon:
+49 30 8104-3564
E-Mail:
mathias.senoner@bam.de
Testmaterial zur Bestimmung der Eigenschaften von energiedispersiven
Röntgenspektrometern am REM
Dr. Vasile-Dan Hodoroaba
Unter den Eichen 44-46
12203 Berlin
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+49 30 8104-3144
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dan.hodoroaba@bam.de