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Referenzmaterialien - Zertifikate und Berichte
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Oberflächen- und Schichtreferenzmaterialien

 

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2012-02-07  

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Ansprechpartner:

Antimon implantiert in Silicium

Dr. rer. nat.
Uwe Reinholz
Richard-Willstätter-Straße 11
12489 Berlin
Telefon:
+49 30 8104-4110
E-Mail:
Uwe.Reinholz@bam.de

Ti / Al Mehrfachschichten TiO2 / SiO2 Mehrfachschichten TiN-, VN-, TiC-, VC- Einfachschichten

Dr. rer. nat.
Uwe Beck
Unter den Eichen 44-46
12203 Berlin
Telefon:
+49 30 8104-1821
E-Mail:
Uwe.Beck@bam.de

Streifenmuster für die Längenkalibrierung und die Bestimmung der lateralen Auflösung im Nanometerbereich

Dr. Mathias Senoner
Unter den Eichen 44-46
12203 Berlin
Telefon:
+49 30 8104-3564
E-Mail:
mathias.senoner@bam.de


Testmaterial zur Bestimmung der Eigenschaften von energiedispersiven Röntgenspektrometern am REM

Dr. Vasile-Dan Hodoroaba
Unter den Eichen 44-46
12203 Berlin
Telefon:
+49 30 8104-3144
E-Mail:
dan.hodoroaba@bam.de